一、 工作方法：

电机带动研磨盘做高速旋转，转速高达1200rpm，高精度位置气缸带动大单晶夹头在上下滑动装置的基础上做上下运动，同时提供恒定的压力使大单晶和研磨盘摩擦磨削，采用高精度位置气缸实时监控，前后进给电机驱动带动大单晶夹头做前后往复进给运动，其移动量可根据所需量调整，当磨削达到所设定的磨削量后电控系统自动停止完成整个磨削过程。

二、主要技术指标：

1、压力可调范围：20～80N；2、监控精度：0.02mm；3、磨削量精度：≤0.02mm；

4、检测平面度：≤0.02mm；5、大单晶夹头前后移动量：60-80mm，前后进给速度15mm/s；以上技术参数均可由用户在电控系统触摸屏上根据需求设定。